12月23日，国内少数以ALD技能为中心的薄膜堆积设备出产商———微导纳米(证券代码：688147.SH)正式登陆科创板上市。公司上市首日收盘价为27.45元/股，比发行价上涨13.38%，总市值124.75亿元，作为国内抢先的微纳制作配备抢先者，有望取得更多重视。

  微导纳米自2015年建立以来，以原子层堆积(ALD)技能为中心，专心于先进微、纳米级薄膜堆积设备的研制、出产与使用。全球创始将ALD技能规模化使用于光伏范畴，2018年公司光伏ALD设备被评为江苏省首台(套)严重配备产品;2021年，公司半导体ALD设备成为国产首台成功使用于28nm节点集成电路制作前道出产线的量产型High-k原子层堆积设备，填补了我国在该类半导体设备上的空白，一举当选第十五届我国半导体立异产品。

  公司经过不断吸纳国内外优秀人才和研制投入，先后建立江苏省原子层堆积技能工程技能研究中心、江苏省外国专家作业室、江苏省博士后立异实践基地、江苏省研究生作业站等科研渠道，在原子层堆积反响器规划技能、高产能真空镀膜技能、真空镀膜设备工艺反响气体操控技能、纳米叠层薄膜堆积技能、高质量薄膜制作技能、工艺设备能量操控技能、根据原子层堆积的高效电池技能等前沿科技范畴继续构筑和强化技能壁垒，并在此根底上继续深化ALD技能鄙人一代光伏电池、集成电路、先进存储等方面的技能储藏，为客户供给更丰厚的高端薄膜堆积产品。

  凭仗职业需求的敏捷添加和公司深沉的技能堆积，2019—2021年，公司完成经营收入21581.56万元、31255.41万元和42791.71万元，年均复合增速40.81%，成绩增加明显。到2022年第三季度，公司在手订单算计19.75亿元，同比增加120%，足够的在手订单为公司后期成绩增加奠定了根底。

  在光伏范畴，公司产品对职业抢先的电池片厂商完成了较高的客户覆盖率。公司在光伏电池片薄膜堆积范畴积累了丰厚的技能与产品经历，树立了杰出的商场口碑，与国内前十名电池片企业均建立了协作伙伴关系，服务包含通威太阳能、隆基股份、 晶澳太阳能、阿特斯、天合光能等在内的多家闻名太阳能电池片出产商。太阳能电池片技能道路现在正由PERC工艺向新式高效电池(TOPCon、XBC、HJT等)展开，公司在职业中已首先取得多家头部电池片企业TOPCon、XBC产线的设备订单，并根据下流厂商在HJT电池、钙钛矿叠层电池等其他新式高效电池的量产节奏储藏有关技能和产品。

  在半导体范畴，公司产品已完成出售，把握多份订单、产品技能验证协作。2021年，公司首台半导体范畴设备完成出售，该台设备为国产首台成功使用于28nm节点集成电路制作前道出产线的量产型High-k原子层堆积设备。公司打破了该工艺技能被国外厂家独占的局势，完成了“卡脖子”技能打破。凭仗产品杰出的技能优势，公司半导体专用设备产品取得多家国内闻名半导体公司的商业订单，并与多家国内干流半导体厂商及验证渠道签署了保密协议并展开产品技能验证等作业。

  跟着国家对半导体工业的继续投入以及本乡企业的加快速度进行展开，国产设备进口代替加快。根据公司招股书数据，半导体薄膜堆积设备的国产化率由2016年的5%提升至2020年的8%。从细分品类看，PVD设备与CVD设备均已开始完成国产化，而ALD设备作为先进制程所有必要的工艺设备，在大规模量产方面国内厂商没有构成打破，因而其国产代替需求尤为火急。

  未来，微导纳米将活跃拓宽并深化中心ALD技能鄙人一代光伏电池、半导体、柔性电子等范畴的使用，针对商场展开和需求开发专用于工业化的薄膜堆积产品及解决方案，不断向产品横向以及纵深展开，力求成为世界级的微纳技能解决方案配备制作商。